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當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器MFC330上海氣體質量流量控制器廠家

上海氣體質量流量控制器廠家
產品簡介:

上海氣體質量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

產品型號:MFC330

更新時間:2025-06-13

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :442

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產品介紹

上海氣體質量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

上海氣體質量流量控制器廠家

TECHNICAL PARAMETERS

技術參數   主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.  

控制響應時間  <3 秒 預熱時間

5 min(T95),30 分鐘最佳  閥門

常閉式  機械特性


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