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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器浙江氣體質量流量控制器廠家

浙江氣體質量流量控制器廠家
產品簡介:

浙江氣體質量流量控制器廠家MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產品型號:

更新時間:2025-06-12

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :354

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產品介紹

MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

浙江氣體質量流量控制器廠家

    產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

   主要參數

介質要求潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測量和控制范圍  0.2%-100%F.S. (1:500)

準確度  ±0.5%F.S.

重復精度 ±0.5%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應時間 5ms

控制響應時間 300ms

預熱時間  ≤1s

閥門  常閉式


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