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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

服務熱線:4008919886

產品中心

PRODUCTS CENTER

當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器mfc300熱式氣體質量流量控制器

熱式氣體質量流量控制器
產品簡介:

愛拓利AITOLY是一家質量流量計和控制器的專業研發制造商。愛拓利專注于微小流量測量與控制,擁有自主知識產權的傳感器、高精度比例閥等,研發生產的質量流量計及流量控制器,在工業和科學領域已穩定運行十數年。目前主營產品有熱式氣體質量流量控制器MFC300 和MFC330,皂膜流量標準裝置等。

產品型號:mfc300

更新時間:2025-06-12

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :461

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產品介紹

MFC300熱式氣體質量流量控制器 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

熱式氣體質量流量控制器

產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


TECHNICAL PARAMETERS
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式


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