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微小氣體流量計的核心原理與技術分類

更新時間:2025-08-15點擊次數:457
  微小氣體流量計核心原理與技術分類:
 
  微小氣體流量計通過精準測量氣體流動特性實現流量控制,常見技術原理及特點如下:
 
  熱式質量流量計
 
  原理:基于熱傳導效應,通過測量氣體流過加熱元件時帶走的熱量計算流量。
 
  特點:
 
  結構簡單,安裝便捷,對小流量敏感(可測低至幾毫升/分鐘)。
 
  無需溫度壓力補償,但測量精度受氣體成分和溫度影響。
 
  典型應用:實驗室氣體分析、半導體制造中的小流量氣體測量。
 
  容積式流量計
 
  原理:通過測量氣體充滿和排出固定容積的次數計算流量。
 
  特點:
 
  測量精度高,不受氣體密度和粘度影響,可測高粘度氣體。
 
  結構復雜,體積大,對氣體清潔度要求高。
 
  典型應用:高精度、高粘度微量氣體測量(如特殊化工氣體計量)。
 
  紅外氣泡法流量計
 
  原理:利用氣泡體積與紅外檢測計算流量。
 
  特點:
 
  適用于連續或非連續氣流,具備自研溫度/壓力補償功能。
 
  多通道組合模式,軟件同步記錄數據,采樣時間最快每秒1次。
 
  典型應用:催化產氫測試、光催化分解水產氫等場景。
 
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